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                  BOKE VACUUM

                  羅茨真空泵的工作原理


                    羅茨泵的結構如圖所示。在泵腔內,有二個(gè)"8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。

                    羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從吸氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時(shí),由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。

                    下圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí)(圖a),左轉子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉到圖b時(shí),該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當轉到90°位置時(shí)(圖d),左轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),右轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續轉到圖e時(shí),右轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過(guò)程。轉子主軸旋轉一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。

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